Dom > Izložba > Sadržaj

Zahtjevi za prethodni film

Jun 20, 2018

Zahtjevi za prethodni film


Visoke koncentracije (> nekoliko atomskih postotaka)
vodika u a-Si filmu može rezultirati lošim
kvalitetni laserski kristalizirani poli-Si filmovi
- Vodik evoluira eksplozivno, uzrokujući
kristalizirani film koji ima mjehuriće / rupice
PECVD a-Si: H se prije mora dehidrogenirati
laserska kristalizacija
termičko žarenje ( npr. 1 sat na 450 ° C)
lasersko žarenje s niskom fluencijom
Ujednačenost debljine sloja Si mora biti veća od
± 5%, za jednoličnu veličinu zrna

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png