Dom > Izložba > Sadržaj

ODF-VAS

Nov 15, 2017

Usisni sustav poravnavanja

Cilj je napraviti TFT i CF u kutije u vakuumu s TFT i CF.

1.jpg


Osnovna struktura je sljedeća

2.jpg

Vacuum Align System, Sastoji se od sljedećih 3 sustava

3.jpg

Vakuum Uskladite Sustav Radno vrijeme, Uglavnom u sljedećem redoslijedu

4.jpg

1.1 vakuumski sustav

Sustav vakuuma AS uglavnom se sastoji od suhe vakuumske crpke (Dry Pump) i Turbo Molecular Pump;

DP obično uzima samo vakuum na oko 10 Pa;

TMP može uzeti vakuum na oko 1 Pa;


Slijedi shematski dijagram vakuumskog cjevovoda VAS stroja

5.jpg

1.2 adsorpcija stakla

Vakuumski poravnavanje sustava Na temelju zahtjeva za preciznošću stakla, staklo ne može imati deformacije, ali i za smanjenje smetnji pada, adsorpciju stakla na stroju najstarijom vakuumskom adsorpcijom, razvojem elektrostatičke adsorpcije, a zatim se pojavljuje adsorpcija molekularne sile!

6.jpg

Na temelju elektrostatičke adsorpcije i adsorpcije molekulske sile, izvršavamo sljedeću usporedbu

7.jpg

1.3 sustav kontrapunktova

Sustav za pozicioniranje je jednostavno snimanje kamere. Označava koordinate, kroz sustav za obradu slike, izračunavanje razlike u položaju supstrata, a zatim upravljački sustav prilagođava položaj supstrata, kako bi se postiglo precizno poravnanje;

8.jpg

Proces poravnanja je sljedeći

1. zgrabite gore i dolje Označite koordinate;

9.jpg

2. Izračunajte theta kao što je prikazano na sljedećoj slici

10.jpg


2. tada se donji podlozi kreću i izračunava se nova središnja točka Bm'is

3. Konačno, Bm'moves se nalazi u položaju Um;